International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 2007 : ISSM 2007 ; 15 - 17 Oct. 2007, Santa Clara Marriott, Santa Clara, California ; conference proceedings / conference sponsors: The Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE); IEEE Electron Devices Society (EDS); IEEE Components, Packaging, and Manufacturing Technology Society (CPMT) ..

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
InstitutionComponents, Packaging, and Manufacturing Technology Society
IEEE Electron Devices Society
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Ort, Verlag, Jahr Piscataway, NJ : IEEE Operations Center , 2007
ISBN1424411416
1424411424
9781424411412
SpracheEnglisch
Online-Zuganghttps://ieeexplore.ieee.org/servlet/opac?punumber=4444476
IEEE/IET Electronic Library (ZDB-37-IEL)
Persistente URLhttps://katalogplus.ub.uni-bielefeld.de/title/HT018559207

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