Titel
Optimierung der Schichtstrukturen, Grenzflächen und Pufferschichten von Mo-Si-Multischichten in Hinsicht auf die EUV-Reflektivität / vorgelegt von Thomas E. Westerwalbesloh
Ort, Jahr
Gütersloh, 2003
Umfang
2, V, 115 S. : Ill., graph. Darst.
Sprache
Deutsch
Medienart
Druckschrift
Zusatzinfo

Bielefeld, Univ., Diss., 2003

Diss. d. Fak. für Physik

Exemplare

Standort
AC803.03 W527; QD054 W527

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